一、硅烷廢氣處理工藝概述

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物，硅烷廢氣處理采用燃燒+洗滌法凈化硅烷氣體，系統(tǒng)內(nèi)包含：硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+噴淋塔。主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

二、工作原理

工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風補氣口補入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵；氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設(shè)備的安全性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效，后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)，進一步去除氧化硅粉塵，提升粉塵的治理效率。

三、用途

主要適用于太陽能、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

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